Vantaghji:
Questa serie di pompe hè bona à e prestazioni in condizioni ambientali dure (alta temperatura, polvere, ecc.), Stabile in prestazioni è cù una lunga vita di serviziu, è una manutenzione simplice è un funziunamentu cunveniente ancu.
Applicazioni:
L'applicazioni principali sò in rilevazione di perdite industriali, PVD, CVD, impiantazione ionica, fabbricazione di cumpunenti elettronichi à vuòtu, vetru à bassa E, vetru ITO, rivestimentu otticu, cellule solari, saldatura à fasci d'elettroni, furnace à vacuum è altre industrie
Quaternu:
Flange (In) | DN400 ISO-K | Gas in tuttu (sccm) | N2: 5500 |
Flange (Out) KF | DN100 | Hè : 4000 | |
Velocità di Pumping (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Hè : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Velocità di rotazione (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Tempu Run-Up (min) | ≤18 | |
Ratio di Compressione | N2: 108 | Tipu di raffreddamentu, Standard | Acqua |
Hè : 103 | Cunsumazione di Acqua di Raffreddamentu (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura di l'acqua di raffreddamentu (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Cunnessione di Potenza: Tensione (V CA) | DC24 / AC220 | |
Pressione Ultima (Pa) | 6 × 10-6 | Consumu Massimu di Potenza (W) | ≤1100 |
Max. Pressione di u vacuum continuu continuu (Pa) | 100 | Modellu di Controller | FD-III |
Max. Pressione di u foru-vacuum | N2: 300 | Peso (chilò) | 130 |