E pompe moleculari levitate magneticamente sò e pompe di i quali l'assi sò supportati in virtù di a forza magnetica.
E pompe moleculari levitate magneticamente in serie sò apparecchiature di generazione di vuoto sviluppate da KYKY per soddisfà i requisiti di applicazione per i campi di fabricazione moderna di semiconduttori, di fabbricazione di chip, di placcatura industriale è di strumenti scientifici.
Tecnulugia:
- Tecnulugia di Cuntrollu per Cuscinetti Magnetichi: L'elettromagneticu adottatu hè un 5-assi magneticamente levitu. Stu cuncepimentu pò avè una risposta dinamica è un adattamentu tempurale per mezu di tecnulugia dinamica attiva di cuntrollu di sospensione magnetica à circuitu chjusu basata annantu à a teoria avanzata di cuntrollu internaziunale, in modu da garantisce tali vantaghji significativi di l'arburatura ad alta velocità cum'è operazione levitabile stabile è affidabile.
- Tecnulugia di Cuntrollu di Motore: U mutore DC à alta velocità à alta efficienza è u sistema di cuntrollu servo sò applicati à e pompe in serie à levitu magneticu, cusì per avè a massima energia di u mutore è per cumpensà a velocità di rotazione di l'arburu automaticamente, rializendu cusì start-up stabile, operazione affidabile è regolazione automatica funzione di l'energia dinamica.
- Tecnulugia di rotore compositu in fibra di carbonu: I rotori turbo di e pompe moleculari di sospensione magnetica seriale sò fatti da a cumpusizione di lega d'aluminiu di alta resistenza è di fibra di carbonu leggera. In cunfrontu cù tutti i rotori in lega di alluminiu, i rotori turbo sò caratterizati da una grande riduzione di pesu è una grande migliuranza di forza, in modu chì si ottenenu obiettivi di alta velocità di rotazione, alta prestazione è alta affidabilità.
- Tecnulugia di resistenza à a corrosione: E superfici di e parti in e camere di e pompe moleculari di sospensione magnetica seriale sò trattate cù un prucessu speciale, in modo chì e superfici ponu resistere à a corrosione causata da gasi corrosivi in i prucessi di fabricazione di semiconduttori per un bellu pezzu. Inoltre, tali gasi inerti cum'è N2 sò pienu riempiti in l'inserzione di e pompe per prutege e parti à bassu vuoto in e pompe, in modo da esse realizata a funzione di stassi stabile gas corrosivi per lunghi periodi.
- Sistema di cuntrollu di temperatura di riscaldamentu: E pompe moleculari levitate magneticamente in serie sò dotate di un riscaldatore elettricu è di un regolatore di temperatura, in modo chì l'acqua di raffreddamentu, u riscaldamentu aria-ossu, u riscaldamentu elettricu è u calore purtatu da i gasi protettivi ponu esse monitorati è cuntrullati durante u funziunamentu, a temperatura in e pompe pò esse mantenuta à qualchì valore à longu andà, alcune sostanze gassose ùn sò micca cunvertite in sostanze solide à temperatura normale è ùn sò micca depositate in e pompe, è ponu esse soddisfatti i requisiti per un prucedimentu speciale cum'è attaccu.
I vantaghji:
1.Zero attritu durante u funziunamentu, è bassu cunsumu d'energia
2.Facile da acquistà veramente aspiratu altu è ultrahigh vuòtu senza lubrificazione per e pompe
3. Capace di estrarre gasi currusivi per longu andà
4.Alta sicurezza è lunga vita di serviziu per via di a prutezzione di i cuscinetti cù palline di ceramica di precisione
5. funzione generatrice di putenza in casu di spegnimentu subitu
Quaternu:
Mudellu |
CXF-200 / 1401E |
Velocità di pompa (l / s, Aria) |
1400 |
Ratio di Compressione |
> 1 × 107 |
Ultimate Vacuum (Pa) |
≤2 × 10-6 |
Flange d'entrata |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Flange Outlet |
KF 40 |
Velocità di rotazione (rpm) |
33000 |
Tempu di corsa (min) |
6 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Pompa di sustegnu (L / s) |
15 |
Munimentu o ientazione |
Qualchese |
Metudu di raffreddamentu |
Acqua |
Peso (kg) (Cù Controller) |
51 |
Applicazioni:
E pompe moleculari levitate magneticamente in serie sò principalmente applicate à i campi di fabbricazione di semiconduttori, di fabbricazione di clip, di placcatura industriale è di strumenti scientifici, in particulare per l'estrazione di gasi corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD è impiantamentu ionicu è gasi facilmente coagulati à temperatura normale.